Study on precision polishing of micro structured mold -Development of micro polishing system using piezoelectric actuator-incorporated with mechanical transformer-
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微结构模具的精密抛光研究-使用压电致动器的微抛光系统的开发-结合机械变压器-
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
T. Higuchi
中科院分区：
文献类型：
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作者：
S.K. Chee;H. Suzuki ;M. Okada,K. Yoshida;W. Lin;T. Yano;T. Higuchi
