シリコン基板湿式エッチング及びＡｌ陽極酸化を用いた微細構造形成
シリコン基板湿式エッチング及びＡｌ陽極酸化を用いた微細構造形成
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使用硅衬底湿法蚀刻和铝阳极氧化形成微结构
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
新宮原正三
中科院分区：
文献类型：
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作者：
清水智弘;新宮原正三
