Photodegradable polymer LB films for nano-lithographic imaging techniques

Photodegradable polymer LB films for nano-lithographic imaging techniques
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用于纳米光刻成像技术的可光降解聚合物LB薄膜

DOI:
10.1016/s0040-6090(01)00889-6
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发表时间:
2001
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
T. Miyashita
T. Miyashita
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
Tiesheng Li;M. Mitsuishi;T. Miyashita

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