空间敏感载荷用超精密驱动系统刚柔耦合振动分析
空间敏感载荷用超精密驱动系统刚柔耦合振动分析
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DOI：
10.13465/j.cnki.jvs.2021.17.014
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
忽伟
中科院分区：
文献类型：
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作者：
孙小庆;杨斌堂;柏转;忽伟
