塗布型・高バリア性PHPS薄膜におけるVUV光焼成プロセスの解明
塗布型・高バリア性PHPS薄膜におけるVUV光焼成プロセスの解明
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阐明涂层高阻隔 PHPS 薄膜的 VUV 光烘烤工艺
DOI：
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发表时间：
2020
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
硯里 善幸
中科院分区：
文献类型：
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作者：
佐々木 樹;上村 佳歩;孫 麗娜;高橋 辰宏;硯里 善幸
