移流集積による縦ストライプ型堆積膜の形成とその構造制御
移流集積による縦ストライプ型堆積膜の形成とその構造制御
复制标题
平流堆积垂直条纹型沉积膜的形成及其结构控制
DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
渡邉 哲，清水皓平，宮原 稔
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Satoshi Watanabe;Kohei Shimizu;Minoru T. Miyahara;渡邉 哲，清水皓平，宮原 稔
