退火对Ge诱导晶化多晶Si薄膜结晶特性的影响
退火对Ge诱导晶化多晶Si薄膜结晶特性的影响
复制标题
DOI:
--
复制
发表时间:
2012
期刊:
Acta Physica Sinica
影响因子:
1
通讯作者:
李明
李明
中科院分区:
物理与天体物理4区
文献类型:
--
作者:
化麒麟;唐润生;杨培志;李明
文献摘要
相似文献