Atsushi Yokotani et al.: "A single precursor photolitic chemical vapor deposition of silica film using a dielectric barrier discharge xenon excimer lamp" Applied Physics Letters. 69・10. 1399-1401 (1996)
Atsushi Yokotani et al.: "A single precursor photolitic chemical vapor deposition of silica film using a dielectric barrier discharge xenon excimer lamp" Applied Physics Letters. 69・10. 1399-1401 (1996)
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Atsushi Yokotani 等人：“使用介质阻挡放电氙准分子灯的二氧化硅薄膜的单一前体光化学气相沉积”应用物理快报 69・10（1996）。
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