T.Hara, Y.Ishizawa, D,Hemmes and D.Rosler: "Enhanced High Temprature Stability of PECVD TiSix Due to Two-step Rapid Thrmal Annealing" Thin Solid Films.157. 1988 135-142
T.Hara, Y.Ishizawa, D,Hemmes and D.Rosler: "Enhanced High Temprature Stability of PECVD TiSix Due to Two-step Rapid Thrmal Annealing" Thin Solid Films.157. 1988 135-142
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T.Hara、Y.Ishizawa、D、Hemmes 和 D.Rosler：“通过两步快速热退火增强 PECVD TiSix 的高温稳定性”固体薄膜。157。
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