M.Shimozuma: "Optical emission diagnostics of H_2+CH_4 50Hz-13.56MHz plasmas for chemical vapor deposition" J.Applied Physics. Vol.70. 645-648 (1991)
M.Shimozuma: "Optical emission diagnostics of H_2+CH_4 50Hz-13.56MHz plasmas for chemical vapor deposition" J.Applied Physics. Vol.70. 645-648 (1991)
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M.Shimozuma：“用于化学气相沉积的 H_2 CH_4 50Hz-13.56MHz 等离子体的光学发射诊断”J.应用物理学。
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