M.Esashi: "Absolute Pressure Sensors by Air-tight Electrical Feedthrough Structure" Sensors and Actuators. 20.A. 1048-1052 (1990)
M.Esashi: "Absolute Pressure Sensors by Air-tight Electrical Feedthrough Structure" Sensors and Actuators. 20.A. 1048-1052 (1990)
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M.Esashi：“采用气密电气馈通结构的绝对压力传感器”传感器和执行器。
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