単結晶ダイヤモンド基板の紫外光支援加工に関する研究～研磨条件が削除率に及ぼす影響～
単結晶ダイヤモンド基板の紫外光支援加工に関する研究～研磨条件が削除率に及ぼす影響～
复制标题
单晶金刚石基体紫外光辅助加工研究~抛光条件对去除率的影响~
DOI：
--
复制
发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
横井裕之
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
長野拓義;坂本武司;久保田章亀;峠睦;渡邉純二;横井裕之
