Integration Challenges of Flash Lamp Annealed LTPS for High Performance CMOS TFTs
Integration Challenges of Flash Lamp Annealed LTPS for High Performance CMOS TFTs
复制标题
高性能 CMOS TFT 闪光灯退火 LTPS 的集成挑战
DOI：
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
K. Hirschman
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Glenn Packard;Adam Rosenfeld;P. Bischoff;K. Bhadrachalam;V. Garg;R. Manley;K. Hirschman
