CNTを用いたSTMによるSiウェハの高アスペクト比ナノ加工
CNTを用いたSTMによるSiウェハの高アスペクト比ナノ加工
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使用 CNT 通过 STM 进行硅晶圆的高深宽比纳米加工
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
岩田博之
中科院分区：
文献类型：
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作者：
久米崇亮;松室昭仁;高木誠;岩田博之
