スパッタアニールAlNの極性制御
スパッタアニールAlNの極性制御
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溅射退火 AlN 的极性控制
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
正直花奈子,上杉謙次郎,肖世玉,三宅秀人
中科院分区：
文献类型：
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作者：
T. Iwaya;S. Ichikawa;D. Timmerman;J. Tatebayashi;and Y. Fujiwara;正直花奈子,上杉謙次郎,肖世玉,三宅秀人
