量子ビームを駆使した微細加工技術の開発と応用
量子ビームを駆使した微細加工技術の開発と応用
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量子束微加工技术的开发与应用
DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
大山智子
中科院分区：
文献类型：
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作者：
K. Haema;T. G. Oyama;Atsushi Kimura;and Mitsumasa Taguchi.;大山智子
