ナノ領域温度計測用マイクロシステムコンセプトと作製プロセス
ナノ領域温度計測用マイクロシステムコンセプトと作製プロセス
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纳米区域温度测量的微系统概念和制造工艺
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
田中克洋
中科院分区：
文献类型：
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作者：
寺島 崇矢;勝部 雅生;小島 宏紀;中谷 和裕;大内 誠.澤本 光男;山本 哲朗;田中克洋
