ダイヤモンド単結晶ウェーハ開発の現状と課題

ダイヤモンド単結晶ウェーハ開発の現状と課題
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金刚石单晶片发展现状及挑战

DOI:
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发表时间:
2016
期刊:
NEW DIAMOND
影响因子:
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通讯作者:
大曲新矢
大曲新矢
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
杢野由明;山田英明;茶谷原昭義;大曲新矢

文献摘要

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