Zr-Content Dependence of Electrical Properties in Heat-Treated In2O3: Zr Thin Films Grown on a Sapphire Substrate by Sputtering
Zr-Content Dependence of Electrical Properties in Heat-Treated In2O3: Zr Thin Films Grown on a Sapphire Substrate by Sputtering
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热处理 In2O3 中电性能的 Zr 含量依赖性：通过溅射在蓝宝石衬底上生长的 Zr 薄膜
DOI：
10.15379/2408-977x.2016.03.01.01
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
and Yoshifumi Murakami
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Yuichi Sato;Minoru Hatakeyama;Yuhei Muraki;Kazuki Sonoda;and Yoshifumi Murakami
