シリコン結晶における破壊靱性値の方位依存性と表面エネルギー
シリコン結晶における破壊靱性値の方位依存性と表面エネルギー
复制标题
硅晶体断裂韧性和表面能的取向依赖性
DOI:
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发表时间:
2004
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
藤原雅美
中科院分区:
文献类型:
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作者:
田中將己;東田賢二;中島英治;高木秀有;藤原雅美