表面粗さ測定における不確かさに及ぼす触針先端半径の影響(第1報)
表面粗さ測定における不確かさに及ぼす触針先端半径の影響(第1報)
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触针尖端半径对表面粗糙度测量不确定度的影响（第一份报告）
DOI：
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发表时间：
2004
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
塚田忠夫
中科院分区：
文献类型：
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作者：
吉田一朗;塚田忠夫
