Fast Positioning of Cutting Tool by a Voice Coil Actuator for Micro-Lens Fabrication-猫眼课题宝

DOI：

10.20965/ijat.2009.p0257

发表时间：

2009-05

期刊：

Int. J. Autom. Technol.

影响因子：

--

通讯作者：

中科院分区：

其他

文献类型：

--

作者：

Y. Noh;Masayuki Nagashima;Y. Arai;W. Gao