Adaptive control for micro/nano positioning system driven by piezo electric actuator
Adaptive control for micro/nano positioning system driven by piezo electric actuator
复制标题
压电陶瓷驱动微纳定位系统的自适应控制
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
D. Wang and C.-Y. Su
中科院分区：
文献类型：
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作者：
X. Chen;S. Wen;D. Wang and C.-Y. Su
