Development of Sputter Deposition Technology of Sm-Doped Pb(Mg1/3Nb2/3)O3-PbTiO3 Epitaxial Thin Film with Pure Perovskite Phase on Si for Piezoelectric MEMS Actuator
Development of Sputter Deposition Technology of Sm-Doped Pb(Mg1/3Nb2/3)O3-PbTiO3 Epitaxial Thin Film with Pure Perovskite Phase on Si for Piezoelectric MEMS Actuator
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用于压电MEMS执行器的硅基纯钙钛矿相钐掺杂Pb(Mg1/3Nb2/3)O3-PbTiO3外延薄膜溅射沉积技术开发
DOI：
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发表时间：
2020
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Shuji Tanaka
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Xuanmeng Qi;Shinya Yoshida;Shuji Tanaka
