混晶化法を用いたAlAs選択酸化特性制御に関する基礎実験

混晶化法を用いたAlAs選択酸化特性制御に関する基礎実験
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混合结晶法控制AlAs选择氧化特性的基础实验

DOI:
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发表时间:
2015
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
魏徹,宮本智之
魏徹,宮本智之
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
Kuniaki Konishi;Makoto Kuwata-Gonokami;小西邦昭;小西邦昭;魏徹,宮本智之

文献摘要

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