Microwave Annealing for Low-Thermal Budget Process of Nickel Monogermanide/Germanium Contact Formation
Microwave Annealing for Low-Thermal Budget Process of Nickel Monogermanide/Germanium Contact Formation
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微波退火用于镍单锗化物/锗接触形成的低热预算过程
DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
and Shigeaki Zaima
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Osamu Nakatsuka;Yoshimasa Watanabe;Akihiro Suzuki;Yoshio Nishi;and Shigeaki Zaima
