Wei Gao, Peisen S. Huang, Tomohiko Yamada, Satoshi Kiyono: "A compact and sensitive two-dimensional angle probe for flatness measurement of large silicon wafers"Precision Engineering. 26-4. pp.396-404 (2002)
Wei Gao, Peisen S. Huang, Tomohiko Yamada, Satoshi Kiyono: "A compact and sensitive two-dimensional angle probe for flatness measurement of large silicon wafers"Precision Engineering. 26-4. pp.396-404 (2002)
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Wei Gau、Peisen S. Huang、Tomohiko Yamada、Satoshi Kiyono：“用于大型硅片平整度测量的紧凑且灵敏的二维角度探头”精密工程。
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