21. Deep Reactive Ion Etching
21. Deep Reactive Ion Etching
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DOI：
10.1002/9781119990413.ch21
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发表时间：
2010-11
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
S. Franssila
中科院分区：
文献类型：
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作者：
S. Franssila
