Sb含有アモルファス炭素膜の合成と電気的特性評価
Sb含有アモルファス炭素膜の合成と電気的特性評価
复制标题
含Sb非晶碳薄膜的合成及电性能评价
DOI：
--
复制
发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
大竹尚登
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
奥山絋章;斉藤啓;大竹尚登
