Performance enhancement of Si MOSFETs using anti-ferroelectric thin films as gate insulators
Performance enhancement of Si MOSFETs using anti-ferroelectric thin films as gate insulators
复制标题
使用反铁电薄膜作为栅极绝缘体增强 Si MOSFET 的性能
DOI:
--
复制
发表时间:
2018
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
S. Takagi
中科院分区:
文献类型:
--
作者:
M. Yamaguchi;T. Gotow;M. Takenaka;S. Takagi