Kikuo Tominaga: "AlN Film Preparation on Glass by Sputtering System with Facing Targets" Jpn.J.Appl phys.Vol.28 Suppl.28-2. 7-10 (1989)
Kikuo Tominaga: "AlN Film Preparation on Glass by Sputtering System with Facing Targets" Jpn.J.Appl phys.Vol.28 Suppl.28-2. 7-10 (1989)
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Kikuo Tominaga：“通过面向靶材的溅射系统在玻璃上制备 AlN 薄膜”Jpn.J.Appl phys.Vol.28 Suppl.28-2。
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