軟X線発光分光によるSiC結晶中窒素濃度の評価
軟X線発光分光によるSiC結晶中窒素濃度の評価
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软X射线发射光谱法评价SiC晶体中的氮浓度
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
川西咲子
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Yamamoto Ryota;Hegendoerfer Andreas;Mergheim Julia;Kakimoto Ken-ichi;川西咲子
