AFMプローブを用いた三次元形状計測システム
AFMプローブを用いた三次元形状計測システム
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使用 AFM 探针的 3D 形状测量系统
DOI:
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发表时间:
2011
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
新野秀憲
中科院分区:
文献类型:
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作者:
綾田翔;澤野宏;吉岡勇人;新野秀憲