AFMプローブを用いた三次元形状計測システム

AFMプローブを用いた三次元形状計測システム
复制标题

使用 AFM 探针的 3D 形状测量系统

DOI:
--
复制
发表时间:
2011
期刊:
日本機械学会論文集
影响因子:
--
通讯作者:
新野秀憲
新野秀憲
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:
綾田翔;澤野宏;吉岡勇人;新野秀憲

文献摘要

相似文献