Ion‐dust streaming instability in processing plasmas
Ion‐dust streaming instability in processing plasmas
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处理等离子体时离子尘流的不稳定性
DOI：
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发表时间：
1996
期刊：
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通讯作者：
M. Rosenberg
中科院分区：
文献类型：
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作者：
M. Rosenberg
研究了离子尘埃流不稳定性，以代表等离子体鞘界面区域的条件，在等离子体鞘界面区域中观察到在处理等离子体中存在尘埃颗粒。使用动力学理论，并保留带电粒子与中性粒子碰撞的影响。研究发现，尘埃等离子体频率数量级的增长率的不稳定性可能是由离子相对于带电尘埃的漂移引起的。简要讨论了等离子蚀刻的可能意义。
An ion‐dust streaming instability is investigated for conditions representative of plasma sheath interface regions where dust grains are observed to be present in processing plasmas. Kinetic theory is used, and the effects of collisions of charged particles with neutrals is retained. It is found that an instability with growth rate of the order of the dust plasma frequency may be driven by the drift of ions relative to charged dust. Possible implication for plasma etching is briefly discussed.