T.Seino et al.: "Atomic-Order Plasma Nitridation of Ultrathin Silicon Dioxide Films"AVS 48th International Symposium, San Francisco, California, Oct.29-Nov.2. PS-MoP10. 53 (2001)
T.Seino et al.: "Atomic-Order Plasma Nitridation of Ultrathin Silicon Dioxide Films"AVS 48th International Symposium, San Francisco, California, Oct.29-Nov.2. PS-MoP10. 53 (2001)
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T.Seino 等人：“超薄二氧化硅薄膜的原子级等离子体氮化”AVS 第 48 届国际研讨会，加利福尼亚州旧金山，10 月 29 日至 11 月 2 日。
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