中島 寛: "スパッタ堆積による高品位Si系絶縁膜の形成" インテリジェント材料. 8. 16-20 (1998)
中島 寛: "スパッタ堆積による高品位Si系絶縁膜の形成" インテリジェント材料. 8. 16-20 (1998)
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Hiroshi Nakajima：“通过溅射沉积形成高质量硅基绝缘薄膜”智能材料。 8. 16-20 (1998)
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