Multi-pulse atomic layer deposition of p-type SnO thin films: growth processes and the effect on TFT performance
Multi-pulse atomic layer deposition of p-type SnO thin films: growth processes and the effect on TFT performance
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p型SnO薄膜的多脉冲原子层沉积：生长过程及其对TFT性能的影响
DOI：
10.17863/cam.96320
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发表时间：
2023
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Gomersall D
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Gomersall D
