K.Maeda: "Mechanism of surface reaction in deposition process of a-Si:H by rf glow discharge" Phys.Rev.B. (印刷中).
K.Maeda: "Mechanism of surface reaction in deposition process of a-Si:H by rf glow discharge" Phys.Rev.B. (印刷中).
复制标题
K. Maeda:“通过射频辉光放电沉积 a-Si:H 过程中的表面反应机制”Phys.Rev.B(出版中)。
DOI:
--
复制
发表时间:
--
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
中科院分区:
文献类型:
--
作者: