栗林勝利: "TiNi可逆形状記憶合金を用いたSiウェハ上のミクロンサイズアームの加工" Journal of Micromachine Society. Vol.6.136-141 (1993)
栗林勝利: "TiNi可逆形状記憶合金を用いたSiウェハ上のミクロンサイズアームの加工" Journal of Micromachine Society. Vol.6.136-141 (1993)
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Katsutoshi Kuribayashi：“使用 TiNi 可逆形状记忆合金在硅晶片上加工微米级臂”《微机械学会杂志》第 6.136-141 卷（1993 年）。
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