Yasushi Azuma, Ruiqin Tan, Toshiyuki Fujimoto, Isao Kojima, Akihito Shinozaki, Mizuho Morita: "Uncertainties Caused by Surface Adsorbates in Estimates of the Thickness of SiO_2 Ultrathin Films"Characterization and Metrology for ULSI Technology : 2003 Inte
Yasushi Azuma, Ruiqin Tan, Toshiyuki Fujimoto, Isao Kojima, Akihito Shinozaki, Mizuho Morita: "Uncertainties Caused by Surface Adsorbates in Estimates of the Thickness of SiO_2 Ultrathin Films"Characterization and Metrology for ULSI Technology : 2003 Inte
复制标题
Yasushi Azuma、Ruiqin Tan、Toshiyuki Fujimoto、Isao Kojima、Akihito Shinozaki、Mizuho Morita：“SiO_2 超薄膜厚度估计中表面吸附物引起的不确定性”ULSI 技术的表征和计量：2003 Inte
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
