マイクロポンプ-センサ一体集積化デバイスの試作

マイクロポンプ-センサ一体集積化デバイスの試作
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微泵-传感器集成装置原型

DOI:
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发表时间:
2012
期刊:
電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌)
影响因子:
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通讯作者:
三宅亮
三宅亮
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
坂本憲児;石野祥太郎;宮原裕二;三宅亮

文献摘要

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