フッ素注入による欠陥制御を行ったDRAMセルの電子スピン共鳴分光評価
フッ素注入による欠陥制御を行ったDRAMセルの電子スピン共鳴分光評価
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通过氟注入控制缺陷的 DRAM 单元的电子自旋共振光谱评估
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
大崎純一・梅田享英・小此木堅祐・大湯静憲
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Y. Toyota;K. lokibe;R. Koga;A. E.Engin;T. H. Kim;M. Swaminathan;梅田享英;T.Umeda;大崎純一・梅田享英・小此木堅祐・大湯静憲
