Actively controlled radical production in a photo-ionized hydrogen plasma for tin contamination cleaning
Actively controlled radical production in a photo-ionized hydrogen plasma for tin contamination cleaning
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主动控制光离子化氢等离子体中自由基的产生，用于清洁锡污染物
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
K. Ozawa
中科院分区：
文献类型：
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作者：
N. Tanaka;Y. Wang;K. Nishihara;S. Fujioka;A. Sunahara;T. Johzaki;Kyung Sik Kang;Youngduk Suh;Jeong-Gil Kim;S. Ueyama;K. Ozawa
