ゼロパワーで位置制御できる反磁性グラファイト板を用いた非接触二次元マイクロ駆動
ゼロパワーで位置制御できる反磁性グラファイト板を用いた非接触二次元マイクロ駆動
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采用反磁性石墨板的非接触式二维微驱动，可零功率控制位置
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
鈴木晴彦,佐藤大地,初瀬敬,菅家稔,伊藤淳
中科院分区：
文献类型：
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作者：
T.Mizobuchi;F.Nagata;S.Tani;T.Hase;Z.Haga;K.Watanabe;鈴木晴彦,佐藤大地,初瀬敬,菅家稔,伊藤淳
