Effect of sputtering parameters on surface morphologies of Sn thin films
Effect of sputtering parameters on surface morphologies of Sn thin films
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溅射参数对Sn薄膜表面形貌的影响
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Ｙｕａｎ Ｌｉ， Ｒｙｏ Ｍａｔｓｕｕｒａ， Ｍａｓｕｍｉ Ｓａｋａ
中科院分区：
文献类型：
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作者：
櫻井芳昭;佐藤和郎;他;Ｙｕａｎ Ｌｉ， Ｒｙｏ Ｍａｔｓｕｕｒａ， Ｍａｓｕｍｉ Ｓａｋａ
