Naoki Matsuzuka: "Algorithm for Analyzing Optimal Mask Movement Pattern in Moving Mask Deep X-ray lithography"Micromechatronics and Human Science. 159-164 (2002)

Naoki Matsuzuka: "Algorithm for Analyzing Optimal Mask Movement Pattern in Moving Mask Deep X-ray lithography"Micromechatronics and Human Science. 159-164 (2002)
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Naoki Matsuzuka:“移动掩模深 X 射线光刻中最佳掩模运动模式的分析算法”微机电一体化与人类科学。

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