Historical Aspects of Subsecond Thermal Processing
Historical Aspects of Subsecond Thermal Processing
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亚秒级热处理的历史回顾
DOI：
10.1007/978-3-319-03131-6_1
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发表时间：
2014
影响因子：
1.5
通讯作者：
W. Skorupa
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
M. Voelskow;R. Yankov;W. Skorupa
从原子弹模拟到先进的半导体加工——这个研究领域经历了从好战到和平的自下而上的方法。
From atom bomb simulation to advanced semiconductor processing—what a bellicose-to-peaceful bottom-up approach this research field experienced.