スパッタ/イオン照射複合プロセスを用いた低温合成におけるイオン照射の影響
スパッタ/イオン照射複合プロセスを用いた低温合成におけるイオン照射の影響
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离子辐照对溅射/离子辐照联合工艺低温合成的影响
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
池永訓昭
中科院分区：
文献类型：
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作者：
栗田航世;一瀬純弥;井上順広;池永訓昭
