Toward Model-Based Control of the Vertical Gradient Freeze Crystal Growth Process
Toward Model-Based Control of the Vertical Gradient Freeze Crystal Growth Process
复制标题
垂直梯度冷冻晶体生长过程的基于模型的控制
DOI:
10.1109/tcst.2021.3058006
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发表时间:
2019
影响因子:
4.8
通讯作者:
N. Dropka
中科院分区:
文献类型:
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作者:
Ecklebe;F. Woittennek;J. Winkler;Chr. Frank-Rotsch;N. Dropka