Application of secondary neutral mass spectrometry in low-energy sputtering yield measurements
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复制标题
二次中性质谱在低能溅射产率测量中的应用
DOI：
10.1016/s0168-583x(97)00145-6
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发表时间：
1997
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
Richard J. Smith
中科院分区：
文献类型：
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作者：
S. Bhattacharjee;J. Zhang;V. Shutthanandan;P. Ray;N. Shivaparan;Richard J. Smith
